二手 NANOMETRICS NanoSpec 9300 #9241417 待售
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NANOMETRICS NanoSpec 9300是由NANOMETRICS, Inc.开发的下一代掩模和晶圆检测设备。该系统为先进和领先的技术提供了高质量的线性和2D检查,使用户能够监控关键过程,并以无与伦比的精度检查缺陷。NanoSpec 9300将专有的光学成像平台与功能强大、定制的硬件、特定于应用程序的算法和复杂的分析技术集成在一起,以提供超高吞吐量模式审查。该单元设计用于高清光刻和图样晶圆应用,如极紫外线(EUV)或极深紫外线(EDUV)光刻。NANOMETRICS NanoSpec 9300提供了用于掩码和晶片检查的通用工具集,具有集成的光学计量、缺陷检测、自动晶片和掩码对准以及全面的文档和报告功能。结合这些功能,用户可以在过程开发过程中获得最大的灵活性和控制,从而实现高精度成像和缺陷检测。NanoSpec 9300由定制设计的映像平台提供支持,为交互模式识别和详细缺陷分析提供了广泛的功能。该机采用5 µm激光头,为详细成像和分析提供最大分辨率和对比度,平均像素大小为1.2nm。该工具的高分辨率光学传感器提供了一系列高灵敏度检测器像素,可实现自动模式映射和全面缺陷检查。NANOMETRICS NanoSpec 9300还配备了功能强大的特定于应用程序的算法,允许用户快速识别掩码和光掩码缺陷,让他们在生产周期的早期采取必要的纠正措施。此外,该资产还提供了一系列自动化晶圆检查工具以及一整套报告和文档功能,使用户能够实时监控流程并跟踪关键性能指标。最后,NanoSpec 9300包括多种定制功能,使其成为各种生产过程的通用平台。该模型具有用于参数优化的专有软件工具,允许用户根据其生产环境的个别需求定制检查过程。该设备还支持对多个行业标准的同步支持,允许用户在多个生产开发过程中使用同一平台,节省宝贵的时间和资源。
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