二手 NANOMETRICS NanoSpec 9300 #9241654 待售

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ID: 9241654
Film thickness measurement system.
NANOMETRICS NANOSpec 9300 from NANOMETRICS是一种新一代的掩模和晶片检查设备,可提供更高的分辨率、更高的精度和更高的吞吐量,用于检查掩模和晶片上的关键特征。它是一个全自动的视频边缘检测系统(VEDS),用于对齐掩码和晶片,以获得最高的精度。NanoSpec 9300利用先进的VEDS,使设备能够执行高速对准,准确检测临界电路特性中的微米级差异,并快速捕获掩码和晶片的全场图像。这使机器能够检查到5纳米分辨率以下的晶片,并准确检测到尺寸小于0.2纳米的缺陷。此外,NANOMETRICS NanoSpec 9300能够检查标准蒙版和晶片,以及包括薄膜、MEMS和FinFET在内的先进技术。该工具还能够测量模式均匀性和定位错误对齐,其质量中心(C.O.M.)精度优于+/-25 nm。资产包括几种功能强大的自动化工具,以确保高效和准确的检查过程。其中包括用于扫描和过滤掩码上特定区域的动态字段编辑(DFE),用于关注需要更多注意的特定区域的目标扫描,用于快速比较来自不同掩码或晶片的数据的ExactMatch,以及自动报告生成器。NanoSpec 9300还拥有易于使用的用户界面,可轻松与现有软件应用程序集成。该模型还设计为极其可靠,采用模块化、易于维护的设计,可减少用户工作量和停机时间。总体而言,来自NANOMETRICS的NANOMRICS NANOSpec 9300是用于高级掩模和晶圆检查应用的理想设备。它结合了卓越的精度、先进的自动化工具和用户友好的界面,以确保快速、可靠和准确的检查过程。
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