二手 NANOMETRICS NanoSpec AFT 180 #19931 待售
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ID: 19931
晶圆大小: 4", 5"
Thin film measurement system
Microspectro photometer head
Wavelength range: 480-790 nm
Measures from 400A to 40,000A.
NANOMETRICS NanoSpec AFT 180是一种掩模和晶圆检查设备,可提供先进的空中成像和自动缺陷审查功能。该系统利用明暗场成像以及自动缺陷分类,快速检测和报告小至90nm的晶片缺陷。NanoSpec AFT 180还提供了检查过程的完全自动化和可追踪性,从而可以轻松高效地保证质量。NANOMETRICS NanoSPEC AFT 180的成像功能基于获得专利的扫描技术,可以快速检查。传感器沿水平和垂直方向扫描晶片,高速收集晶片每个区域的多个图像。此过程有助于减少总体检查时间,同时仍提供高质量的成像和准确的缺陷识别。该装置配有两个单独的光学传感器,用于探测空气中的污染物。使用红外和可见光传感器,NanoSpec AFT 180能够检测晶圆表面上的任何粒子,如灰尘、污垢或其他缺陷。这样可以确保迅速准确地查明和报告任何潜在的污染源。除了成像功能外,NANOMETRICS NanoSpec AFT 180还提供自动缺陷审查。此功能允许对缺陷进行自动分类并分配严重程度级别,以确保仅根据可能实际造成屈服风险或性能风险的发布进一步检查。机器还配备了先进的软件包,使操作员能够快速轻松地查看和分析检查过程的结果。总体而言,NanoSpec AFT 180是一种功能强大的晶圆检查工具,可提供可靠的成像、自动缺陷审查以及检查过程的完整可追踪性。这一资产使制造商能够快速准确地检测晶圆缺陷和空气中的污染物,同时确保保持有效的质量保证。
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