二手 NANOMETRICS NanoSpec AFT 210 VT #9226129 待售

NANOMETRICS NanoSpec AFT 210 VT
ID: 9226129
晶圆大小: 6"
Thickness measurement system, 6".
NANOMETRICS NanoSpec AFT 210 VT是一款用途广泛且先进的掩模和晶圆检测设备,旨在满足当今最苛刻的要求。它具有模块化配置,具有高分辨率、线性扫描路径,可确保高吞吐量、非常低的缺陷检测灵敏度以及跨各种应用程序的可扩展性。NanoSpec AFT 210 VT利用2D和3D扫描技术进行掩码和晶圆检查,并能够检查尺寸最大1微米的最佳特征和形状。它有两个扫描路径,可以同时操作。第一种是慢速扫描路径,能够精确测量蒙版和晶片上的3D特征,分辨率高达0.01微米。该扫描路径还能够测量强度、对比度和边缘检测。第二种是快速扫描路径,非常适合测量边缘位置和线宽变化,分辨率高达0.1微米。NANOMETRICS NanoSpec AFT 210 VT的高分辨率成像系统允许无与伦比的缺陷检测和测量精度。它的无透镜设计有助于减少与传统光学成像系统相关的缺陷检测错误。该单元还配备了背光照明机,能够检测到划痕、颗粒和其他不可见污染物等细节。此外,该工具还能够利用其优化的衍射增强技术检测打印胶片上的未解决缺陷。可以使用NanoSpec AFT 210 VT附带的精密图像分析软件来分析和比较所获得的掩模和晶圆测量结果。NANOMETRICS NanoSPEC AFT 210 VT与行业标准图像格式兼容,允许与以前存储的数据兼容。该资产还便于与其他数据分析软件集成,如统计过程控制和质量控制系统。总体而言,NanoSpec AFT 210 VT是一款用途广泛、功能强大的掩模和晶圆检测型号。它的模块化配置和高分辨率成像设备提供了非常小尺寸的精确测量,即使在极其复杂的掩模和晶片上也是如此。该系统还包括先进的成像技术,包括改进的衍射增强系统,有助于减少误报和误测。最后,该单元易于与其他数据分析软件集成,使其成为那些希望将掩码和晶圆检查纳入其工作流程的人的一个绝佳选择。
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