二手 NANOMETRICS NanoSpec AFT 210 #293656608 待售

ID: 293656608
Thin film thickness measurement system Manual included.
NANOMETRICS NANOspec AFT 210 from NANOMETRICS是为半导体制造而设计的专业级Mask&Wafer Inspection设备。它通过高度先进的高分辨率散射法提供掩码和晶圆成像,以及高精度的模内计量。该系统具有集成的20倍放大图像,可执行自动晶片功能检查,以及自上而下的3.5倍图像,可提供更大的视野以查看整个晶片。检验单位支持光学掩模和晶片成像、光刻模式的监测和评估、掩模和晶片缝合以及模内计量。NANOMETRICS NANOSPEC/AFT 210具有全自动晶圆映射功能,可快速获取遮罩或晶圆制造过程各个方面的光学和散射数据,如缺陷密度和覆盖测量。散射测量成像支持广泛的波长范围,使得能够检查不同的过程和几何形状。它可以检测线宽小至0.018微米的模式。对于精确的模内计量,机器使用其板载计量传感器,既提供高精度和高分辨率。它可以测量重迭的多层图样到几纳米以内。该工具还可以检测和测量缺陷、扼杀/倾斜和其他不规则性。在可用性方面,资产拥有易于使用的触摸屏界面,让用户可以快速设置和操作模型。它还提供了多种用于数据分析和操作的软件工具。该设备附带一个选项,以集成额外的计量工具,如多热光刻和先进的模式计量系统。总体而言,NANOMETRICS提供的NanoSpec AFT 210是半导体制造的绝佳选择,一定能满足您的所有检查和计量需求。凭借其高分辨率成像以及自动晶片和掩模映射,您可以确保整个生产流程的准确性和质量。
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