二手 NANOMETRICS NanoSpec AFT 210 #9043965 待售

NANOMETRICS NanoSpec AFT 210是半导体工业中用于检测物理和电气缺陷的自动化100X掩模和晶圆检测设备。该系统利用基于衍射的散射技术和电子束纳米光学技术帮助检测和识别缺陷。NanoSpec具有高速视觉单元和基于物理模型的缺陷检测和分类引擎。这种功能组合在快速扫描时间内具有很高的准确性和可重复性。NanoSpec还能够测量线宽到50纳米以下（nm）。此外，机器可以区分光刻、掺杂、电镀、蚀刻等不同类型的缺陷。NanoSpec利用反射和暗场照明,允许各种检查配置。该工具依靠超高速成像资产在纳秒内捕获信息，以及为高效模式识别而设计的图像处理模型。该设备可以检测小到110 nm的缺陷，包括通过先进的平版印刷技术如音高分割线和双音布局所产生的缺陷。系统还提供自动化的作业编程、过程控制和通过/失败分析。它能够进行大容量的晶片和掩模同时检查，并且可以与许多前端过程控制系统集成。该单元还配备了激光显微镜，用于识别和研究微观结构和污染。对于所有类型的缺陷,NanoSpec的缺陷检测精度为0.2微米。此外，机器提供100%的采样率，保证识别晶圆或掩模上存在的所有缺陷。所有工具数据都存储在公司的专有数据库中,用于进一步分析和过程评估。该资产还与大多数用于数据操作和检查评估的主要软件程序兼容。NanoSpec是一种经济高效的仪器,可帮助识别和减少缺陷,同时优化用于改进过程的工具。通过直观易用的界面,客户可以快速配置设置,选择适当的缺陷检测标准,并生成详细的检查报告。此外,该型号的高速扫描减少了掩模和晶圆检测时间,这意味着增加了生产吞吐量。