二手 NANOMETRICS NanoSpec AFT 210 #9265791 待售

NANOMETRICS NanoSpec AFT 210是一种掩模和晶圆检查设备,可用于广泛的应用,包括迭加测量、缺陷检查和过程控制。该系统提供高级功能,如自动对焦、超快自动化和独特的3D成像功能。该装置采用获得专利的三维成像工艺，可精确检测表面和地下缺陷。这是通过结合光学相干断层扫描（OCT）和其他成像技术来完成的。OCT是一种干涉成像工艺，用于表面和材料的无损成像。NANOMETRICS NANOSPEC/AFT 210能够同时成像多层，分辨率降至10nm。该机器设计用于生产环境和实验室使用。它具有直观的图形用户界面，包括作业控制、模式选择和特征识别向导。它还具有创建自定义作业以满足特定用户要求的功能。该工具配有高分辨率CCD相机，用于先进的图像采集和分析。它还具有高速自动对焦资产,每行扫描速度高达0.5秒。这样可以快速准确地检测缺陷并控制过程。相机镜头型号还允许可变放大倍率高达2400 X，设备具有集成的双光束光学系统，确保精确精确的迭加测量。双光束在可见光谱范围内工作。它还包括激光准直单元、薄膜计量工具和暗场显微镜。经SEMI标准S13认证，用于自动掩模和晶圆检验。NanoSpec AFT 210旨在提供卓越的成像、分析和数据处理功能。这台机器提供可靠性、准确性和快速周转时间，使其成为掩模和晶片检查的理想选择。它能够为曲面和次曲面缺陷提供详细的图像以及精确的轮廓。