二手 NANOMETRICS NanoSpec AFT 210 #9280739 待售

ID: 9280739
晶圆大小: 6"
Thickness measurement system, 6" Head assembly Photo Multiplier Tube (PMT) PMT Socket Optics Nanospec 210 Computer Nanospec CRT Monitor / Keyboard Manual Range of thicknesses: 100 to 500,000 Å Typical measurement time: 2.5 seconds Power supply Spot size: 50 µm with 5x objective 25 µm with 10x objective 6.5 µm with 40x objective.
NANOMETRICS NanoSpec AFT 210是一种用于正面计量、缺陷检测和特征分析的综合性掩模和晶圆检测设备。该系统专为半导体制造而设计,提供了一个易于使用的平台,可自动执行检查过程。该平台具有小零件分析功能,可用于小至25毫米的晶片。该单元采用纳米级位移传感技术,测量光刻缺陷、表面轮廓以及IC、微零件等元件上的其他特征。机器还支持纳米级缺陷检测,使用电流分析、光学故障检查和足迹分析等功能。NANOMETRICS NANOSPEC/AFT 210提供一系列图像分析和测量功能,以增强其功能。集成的合并/拆分工具允许将晶圆图像与其组件参数关联。边缘检测算法有助于提高特征测量的准确性,而内置的定量缺陷库为设置和分析测量和缺陷条件提供了方便的视觉辅助。资产的界面是用户友好的,允许操作员轻松选择参数,查看收集到的数据,分析结果。它还提供了一个自动化缺陷审查模式,以简化质量控制。它配备了高速AutoFocus功能以实现可靠的成像,并配备了多角度测量功能,可同时测量多达两个角度。该模型还具有可配置的检查模式,以确保准确性和可靠性。NanoSpec AFT 210为掩模和晶圆检测提供了高效而全面的解决方桉。其纳米级缺陷检测能力、用户友好界面、高速AutoFocus功能以及广泛的图像分析和测量能力,使其成为半导体制造过程中质量检验的可靠高效平台。
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