二手 NANOMETRICS NanoSpec AFT 2100 #9400848 待售
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ID: 9400848
优质的: 1998
Film thickness measurement system
Keyboard
Does not include cables
1998 vintage.
NANOMETRICS NanoSpec AFT 2100是一种全自动掩模和晶圆检测设备,专为高端生产环境而设计,提供了广泛的内联缺陷检测和审查功能。NanoSpec AFT 2100为各种掩模、光掩模和下一代模具产品提供快速、通用的特性检查和缺陷检测。主要系统配置包括专用的现场系统,每个系统都由一个成像炮塔组成,同时具有紫外线和III型光源以及一个专用的像素滤镜模块。成像炮塔由两个物镜组成,组装在固定的关节臂上。这些透镜捕获光跨越双波长光谱,允许远场和近场检查。成像炮塔还设有可用于优化扫描区域的数字变焦单元,允许快速检查整个掩模或晶圆,而无需重新定位。单独的像素滤镜机设计用于分析成像炮塔收集的数据,并将其与预定义的特征密度、大小、形状和梯度进行比较。如果任何功能不在范围内,将生成自动警报。该工具还配备了许多高级检查功能,包括自动特征和缺陷识别、迭加成像和线路/空间识别等。该资产还可以配置为多站点功能,允许对多个晶圆和掩码同时进行检查,从而减少人工并提高整体效率。此外,该模型还可用于光学和暗场显微镜,使用户能够验证缺陷并检查在正常操作下可能看不到的关键特征。NANOMETRICS NanoSpec AFT 2100还提供了许多图像分析和后处理选项。通过ImageJ和NIST Image Analysis Objects等软件,用户可以快速轻松地创建目标模具或掩码的详细后处理图像。此功能集允许用户快速诊断和响应潜在缺陷,从而提高生产环境中的总体生产率和产量。总体而言,NanoSpec AFT 2100是一款先进的掩模和晶片检查设备,可简化和加快检查过程,提供广泛的功能、高精度和快速的后处理能力。是实现高缺陷产量、提高整体生产性能的理想工具。
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