二手 NANOMETRICS NanoSpec AFT 212 #9208402 待售
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NANOMETRICS NanoSpec AFT 212是一款专为半导体制造而设计的最先进的自动蒙版和晶圆检测设备,采用市场上最先进的检测技术。该系统结合了多种先进的检测技术,如自动聚焦技术(AFT)、NanoSpec矢量映射,以及一个可调照明单元,以提供微电子晶片上缺陷和其他异常的无与伦比的精度和图像质量。自动对焦技术(AFT)由一对基于高分辨率三维反射高度图聚焦晶片纳米尺度特征的立体相机组成。利用AFT,用户能够以亚纳米精度精确测量和分析晶片表面地形。相比之下,传统的高分辨率显微镜只能测量分辨率约5纳米的表面特征。NanoSpec向量映射机允许检测NanoSpec AFT 212上的纳米尺度缺陷和其他异常。使用此工具,用户可以在传统显微镜可达到的5纳米精度的10%内,在纳米级水平下测量特征。这些特征从凹痕、颠簸和划痕到桥接、空隙、短裤等等。NANOMETRICS NanoSpec AFT 212的可调照明资产允许用户通过控制放置在晶圆表面上的光量、角度和强度来精确测量晶圆的特性。这样可以在扫描掩模和晶片上较小的纳米比例特征时提高精度。利用这种可调照明模型,NANOMETRICS能够为缺陷检测和分析提供最高质量的图像。此外,设备提供了易于使用的用户界面,允许用户控制各种设置,如焦点、曝光时间、图像大小和放大倍数。它还具有一个集成的数据分析系统,它允许用户存储、分析、比较和查看与该单元获取的数据。NanoSpec AFT 212具有很高的精度和可靠性,是微电子生产线面膜和晶圆检测的理想解决方桉。
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