二手 NANOMETRICS NanoSpec AFT 4000 #9024521 待售
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ID: 9024521
晶圆大小: 3"-8"
Film thickness measurement system, 3"-8"
Capable of accommodating wafers from 75mm to 200mm
Olympus 5x, 10x, and 50xULWD objectives
Olympus 10x eyepiece
System Computer and Software
Visible Single Layer Films: 500 – 50,000A
UV Single Layer Films: 25 – 500A
Visible Double (Top) Layer Films: 100 – 30,000A
Visible Double (Bottom) Layer Films: 500 – 50,000A -Single Layer Thick Films Visible: 4 – 75 um
Reflectance Visible: 400 – 850nm
Oxide on Poly UV: 150 – 10,000A
Oxide on Metal Visible: 3,000 – 20,000A
Oxide on Metal UV: 500 – 5,000A
Operator Manual and Documentation.
NANOMETRICS NanoSpec AFT 4000是一种先进的掩模和晶圆检测设备,旨在为半导体器件提供高质量的自动化测试。该系统利用自动聚焦离子束(FIB)技术来执行成像和分析任务。这为测量和分析掩模和晶片的物理特性提供了一种有效的手段,从地形和组成到互连性和光刻特性。NANOMETRICS NANOSPEC/AFT 4000由三个主要部分组成。第一个是检查组,其中包含高分辨率的西门子MAGNA 3轴探测器和强大的显微镜能力。这使机器能够在放大倍数下准确检测和解析最小的特征。二是利用双离子源工具的FIB源。这提供了用于精确成像和分析的受控离子剂量。最后,该资产具有集成的分析和审查界面。这使用户能够轻松监控和评估每个测试的结果。NanoSpec AFT 4000具有多种独特的功能。第一,它具有较高的吞吐量阶段,允许多个掩模和晶片片同时进行单次通过测试,这显着加快了过程,可以显着减少周转时间。此外,该模型具有很高的准确性和可重复性,每次可为用户提供可靠的结果。该设备还具有内置的安全特性。其中包括有助于防止污染的真空系统,以及用于降低电荷堆积风险的防静电机制。此外,该单元能够同时测量地形和组成,提供全面的结果以优化效率。NANOSPEC/AFT 4000是一款用途广泛且高度可定制的机器。因此,它可以配置用于多种应用,包括成像、电化学、沉积和掩模晶片制备。它设计用于各种行业,从集成电路到印刷电路板。即使在高温和湿度环境中,它也能够保持其准确性和结果,使其成为各种生产环境的理想选择。
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