二手 NANOMETRICS NanoSpec AFT 5100 #9266970 待售

NANOMETRICS NanoSpec AFT 5100掩模和晶圆检验设备是一种自动化的高分辨率计量工具,专为半导体制造而设计。NanoSpec AFT 5100具有通用模式识别系统,可准确可靠地检查具有定性和定量功能的模式。它还包括一个先进的显微镜光学模块，可以精确测量多个图样z高度和表面参数，最高分辨率<50nm。自动化计量功能的单元允许高速和高精度的模式检查，易于设置和操作简单。该机器提供多种成像技术选择,包括亮场、暗场和偏振照明,从而增强了各种清洁应用的成像能力。它包括一个优化的宏观/微观结构照明模块，用于各种结构界面，从而提高图像质量和精细细节分析。此外,该工具还具有一种独特的算法,可智能检测和掩蔽测试边缘细节,从而便于准确量化划痕、断裂和线宽。该资产还可以精确测量缺陷大小和位置,以及先进的掩模修复（一种用于自动缺陷修复的技术）。它提供了多色迭加校正,以确保各种彩色图像的对比度均匀性,以及3D光学截面。NANOMETRICS NanoSpec AFT 5100配备直观、用户友好的软件,让用户轻松控制模型、实时观察测试结果、选择、设置和优化测量参数以及导出数据。此外，该设备还包括一个用于存储测量数据的内置数据库，便于日后使用。综上所述,NanoSpec AFT 5100 Mask&Wafer Inspection System是一种用于半导体制造的高效计量工具,它提供了一组独特的功能,可轻松准确地检查Mask和Wafer。它提供各种成像技术、多色迭加校正和先进的掩模修复功能,以提高测量精度。该单元还提供了直观的用户友好图形用户界面，使其操作方便，达到高精度的计量结果。