二手 NANOMETRICS NanoSpec AFT 6100 #9276360 待售
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ID: 9276360
Film thickness measurement system
Handler: OLYMPUS AL110 Series Auto loader
Up to (3) layers
Reproducibility: <1Å UV, 2Å (Visible)
Measurement time: 0.5 to 3 sec/site
Data management: 2D and 3D Mapping, diameter scan
Communication kit: SECS II
Data export: ASCII
Wave length range:
400 to 800 nm
210 to 800 nm
Film thickness range:
250Å to 20µm (Visible)
40Å to 20µm (UV and visible)
Components:
Optics stand
Monitor
Key board
Track ball
Joy stick
Hardware configuration:
Wafer size: 75 mm to 200 mm
Optics: 4x, 10x, 15x (UV), 40x
Spot size: 50, 20, 18 (UV), 5.5 µm
PC Computer with high capacity drives
Power supply: 117 ±5% VAC, 50/60 Hz, 5 A.
NANOMETRICS NanoSpec AFT 6100是一种精密的掩模和晶圆检测设备,旨在通过检测单个纳米级的制造缺陷来确保产品的最佳产量。它几乎可以检测到任何阵列问题,包括未对齐、工艺覆盖范围不足、蚀刻工艺缺陷、晶圆裂纹、特征未对齐以及其他异常。NanoSpec AFT 6100的工作原理是拍摄遮罩和晶片图样的超高分辨率图像以及缺陷图。然后用它来分析纳米级的特征，提供关于缺陷模式、位置和大小的详细见解。它还有助于测量光掩模的特征精度、放置和对准精度以及图桉完整性。AFT 6100具有高达5000万像素分辨率的高分辨率摄像头和获得专利的数字图像采集系统，能够检测非常小的缺陷。该单元的软件体系结构包括功能强大的图像捕获和缺陷检测引擎、灵活的数据分析和比较工具以及广泛的报告功能。该机器具有高达332X的缩放功能,可用于查看局部缺陷。它配有透明的轻笑器，用来增强晶圆或面罩的平整度和放置精度。NANOMETRICS NanoSpec AFT 6100还有一个自动化的光学对准工具，可以快速将光掩模与晶圆模板对准，帮助减少检查时间。NanoSpec AFT 6100提供高度灵活和可靠的检测资产,具有高精度和高精度。其直观的图形用户界面还可以让用户快速查找和理解缺陷信息。该模型可用于多个不同层次的生产、鉴定和工艺开发工作，从单模到设备层面。AFT 6100易于使用,并提供各种定制选项以满足特定需求。它是任何晶片制造过程中必不可少的工具,需要极高的精确度和详细的阵列和检查能力。
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