二手 NANOMETRICS NanoSpec AFT #293615480 待售
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NANOMETRICS NANOMRICS NANOSpec AFT (Advanced Feature Technology, ADVANCED FEATURE Technology, NANOMETRICS by NANOMOMOM是一种前沿该系统为具有智能缺陷组织的2D和3D成像提供了更高的精度和准确性,具有广阔的视野。NANOMETRICS NANOSPEC/AFT具有独特的智能特征扫描(SFS)功能,可对清晰和不透明特征进行分析,并提高图像清晰度和不进行图像移动。该单元还包含一个低背景光学板,以减少背景噪声和误报。NanoSpec AFT的光学设计为客户提供了调整检查参数的灵活性,如明暗水平、对比度阈值以及调焦速度等。该机器还提供了几种模具到模具(Die-to-Die,D2D)模式,允许用户在整个晶圆上对每个模具执行关键缺陷检测、分类和计量。该工具易于集成到现有生产线中,并提供全面的自动化支持,以确保最大限度的筛选效率。它还能够识别出大到可以用非导电特征对比检测到的复杂缺陷。NANOSPEC/AFT设计用于使用光学和扫描电子显微镜分析难以检测的晶片缺陷,如镶嵌和锯切缺陷、小坑和划痕。该资产具有很高的分辨率和可重复性,因此非常有效地检测通常难以找到的微观特征和缺陷。此外,它还包括一个内置显微镜,便于观察和检查模具级缺陷。NANOMETRICS NanoSpec AFT的灵活性和效率使其用户能够获得质量一致的可靠检验结果。其创新的设计还允许最大限度的工艺正常运行时间,最大限度地提高检测吞吐量,从而提高生产效率。这种模型非常适合先进的功能和专业的半导体检查,成本和麻烦最小。
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