二手 NANOMETRICS NanoSpec AFT #293661060 待售

NANOMETRICS NanoSpec AFT是为高精度计量应用而设计的掩模和晶圆检测设备。该系统提供了一套广泛的光电元件，以提供复杂的掩模和晶圆特性的清晰和详细的图像。它集成了两个基本组成部分来实现这一目标：激光源成像单元和高级成像头。NANOMETRICS NANOSPEC/AFT的激光源分量测量具有亚纳米精度~ 1 nm）的特征尺寸。它使用8通道激光机结合三通道强化CCD（ICCD）相机。此工具能够进行高级3D成像,并且可以针对纠错和/或测量应用进行专门配置。它还支持广泛的模式识别技术,并提供对掩模和晶圆特征的精确、准确和高分辨率成像。NanoSpec AFT的成像头元件提供0.5 nm分辨率的晶圆表面和特征的高精度成像。它包括一个高反射多轴高精度电动级。此模块可实现非常精确的级控制,以使成像资产与晶圆表面最佳地对齐。该模型还提供了坚固的光学隔离设备，以消除来自环境光源的干扰并确保高分辨率成像。NANOSPEC/AFT是用于高精度掩模和晶圆检测的最全面、最经济高效的解决方桉。它允许精确测量特征尺寸和包括线宽和拐角切口在内的图桉纠错。因此,它为过程控制和制造优化提供了宝贵的工具。该系统可靠性高，操作方便，非常适合生产环境。