二手 NANOMETRICS NanoSpec AFT #293807248 待售

NANOMETRICS NanoSpec AFT是一种为半导体工业设计的掩模和晶圆检验设备。该系统基于垂直扫描干涉测量（VSI）技术，为各种半导体制造和研究过程提供高度可靠和可重复的测量。该单元的主要组件包括干涉测量单元、电光单元和控制器。干涉测量单元使用VSI技术以极高的精度测量样品的表面轮廓（光掩模或晶片）。电光单元包含分析干涉单元收集的数据所需的检测光学和电子设备。控制器用于操作两个子系统，并作为一个整体监控样本的状态和性能。NANOMETRICS NANOSPEC/AFT结合了VSI的高灵敏度与气流直接技术（AFT），提供极精确的测量能力。该机器利用传感器头样品上的连续气流，允许对样品进行完整的标准无损计量。该工具的非破坏性还可以防止样品损坏。该资产不仅在半导体行业有应用，在研发应用中也有应用。系统高级信号处理算法允许对各种样本属性（如表面粗糙度、线宽和平面度）进行可重复和精确的测量。NanoSpec AFT还允许测量全表面轮廓和亚微米特征,如线缘粗糙度（LER）、刻面、线宽粗糙度和深度变化。这使得它对于检查临界层掩模模式和晶体管栅极轮廓特别有用。NANOSPEC/AFT设计具有较高的样品吞吐量，使其能够在短时间内对大量样品进行检测。它也很容易使用，能够针对特定的应用进行量身定制。它体积小巧，成本低，是半导体检测研究应用的理想选择。