二手 NANOMETRICS NanoSpec II #293817576 待售

NANOMETRICS NanoSpec II是一种用于半导体制造关键过程控制的高精度、无损计量的掩模和晶圆检测设备。它包括四个组件：一个DUV光引擎，一个探测器臂，一个6轴机器人舞台和一个软件系统。NanoSpec II的光引擎使用专为半导体应用量身定制的专有光源。它提供高强度、短脉冲和窄光谱，以产生高细节的微电子部分图像。光源可用于多种反射模式，包括亮场、暗场、偏振光、斜面和频闪监视器。检测器臂设计用于晶圆或掩模的光学扫描。可用于晶片测量、晶片干涉、掩模偏振、掩模比较显微镜、掩模红外显微镜。它可以调整以适应各种样本量，直径从0.5英寸到8英寸。6轴机器人级提供了被检零件可靠、可重复的定位，让样品在检测站之间快速准确地移动。它装有晶片处理工具，以加快晶片加载到NANOMETRICS NanoSpec II上。该软件单元提供光发动机的自动校准、自动图像采集和图像处理、一整套数据分析工具以及数据查看的可视界面。它具有虚拟文件机（VFS）,允许用户在工具上管理和存储图像。总体而言，NanoSpec II是半导体行业中检验口罩和晶片的有效资产。其轻型发动机、探测器臂、机器人舞台和软件模型相结合，为微电子器件的计量和精细分析提供了自动化设备。该系统是为长期可靠性而设计的，能够对关键半导体元件进行高效、准确和可重现的检查。