二手 NANOMETRICS NanoSpec TM 8000X #9260053 待售
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已售出
ID: 9260053
优质的: 1999
Measurement system
Film stacks back / front: Poly, oxide and multilayer
Fourier Transform Infrared (FTIR) film analysis
Visible and UV reflectometer
Sophisticated modeling algorithms
Submicron precision XY table for silicon substrates: Up to 200 mm
High throughput multitasking robotics
SECS II / GEM Compliance
FTIR Module laser
Touch screen monitor
1999 vintage.
NANOMETRICS NanoSpec TM 8000X是最先进的掩模和晶圆检测设备。它专为半导体行业的制造商和研发而设计。该系统提供了多种工具和功能,使其甚至适用于最苛刻的检查任务。NanoSpec TM 8000X针对过程控制和研究目的进行了优化。为达到最佳成像效果,该装置配备了直径25.6cm的检测室、30X个物镜和一个亮场光源。复杂的硬件和软件控制组件结合在一起,实现了多种视频亮度范围和一系列视场设置,可进行高达20 μ m的测量。NANOMETRICS NanoSpec TM 8000X融合了样品处理技术的最新发展。它配有晶圆电机驱动器和晶圆处理机构,以确保可重复和精确居中的样品放置。XYZ定位机由计算机控制,使用线性定位工具模拟样品的Z位置进行图像采集。X、Y和Z阶段的增量为0.1 μ m或0.2 μ m。此外,NanoSpec TM 8000X还提供了多种图像增强工具。其中包括二维滤波减法校正(2D FSC)、帧平均、掩码对比度调整(MCA)、降噪以及高级图像捕获资产。这些功能允许用户以更高的准确性和可重复性降低图像噪声并测量其样本。NANOMETRICS NanoSpec TM 8000X也符合各种行业协议和标准。该模型支持SEMI标准规范E116颗粒污染检测。通过集成的自动缺陷分类引擎可以满足对标准的遵守。通过使用NanoSpec TM 8000X,公司可以确保所检查的任何掩模或晶片都是按照尽可能高的标准准确完成的。这不仅会节省时间和金钱,还会给企业信心,让他们的产品符合行业要求,有理想的结果。
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