二手 NANOMETRICS NanoSpec VT 210 #293700335 待售

NANOMETRICS NanoSpec VT 210是为半导体工业设计的高分辨率掩模和晶圆检测设备。它提供了对关键掩模和晶片的半自动化、高精度的检查,能够快速检测、识别和校正缺陷。该系统非常适合应用于先进的半导体制造、故障分析和卓越的设计。该单元采用13.5英寸显示器和250毫米的上层旅行区域，并通过真空紫外线（VUV）光谱范围提供了极端紫外线（EUV）光学特征的高分辨率图像。VT 210配备了一系列特殊光学器件，如先进的UV光学器件，它允许小至20 nm的特征尺寸成像，以及低剂量X射线显微镜，提供高达10 nm特征尺寸的成像能力。机器可以用可重复扫描进行编程，用户无需等待扫描完成即可实时交互分析缺陷。Ultracompact VT 210还有一个内置摄像头和一个开放的体系结构平台，带有一个预选参数库，能够对工具进行高级编程和定制。它可用于诊断问题、评估过程更改或执行设计优化。此外,用户可以自定义特定应用程序的检查参数,并且可以在不额外暴露的情况下检查样品。对于Mask和Wafer应用程序,VT 210提供自动缺陷识别、分类和优先级划分。它还可以捕获和保存缺陷图像=以实现快速缺陷分析和特征分析。为确保高精度，用户可以选择多个任意扫描窗口，资产甚至可以区分干净、可修复和污染/分层的缺陷。总体而言,NanoSpec VT 210是一种先进的晶圆和掩模检查模型,旨在促进半导体制造、故障分析和卓越的设计。除了先进的紫外线光学、低剂量X射线显微镜和交互缺陷分析功能外,VT 210还提供自动缺陷切除、缺陷分类和缺陷优先级划分。简而言之,VT 210提供了详细的光学检查,并能够快速准确地识别和解决缺陷。