二手 NANOMETRICS Orion #9217790 待售

NANOMETRICS Orion
製造商
NANOMETRICS
模型
Orion
ID: 9217790
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Overlay system 2006 vintage.
NANOMETRICS Orion是一款突破性的掩模和晶圆检测设备,允许用户测量各种半导体器件的表面地形和几何参数。对于需要以极高的精度检查晶片和掩模的厂商来说,它是理想的选择。该系统的核心是使用高分辨率相机和调制光源分析样品特征的专有扫描和采样技术。全画幅成像传感器以高对比度从样品的多个视图中捕获图像。该单元使用专有算法捕获和分析图像,在短时间内提供对样本表面地形和物理特征的高分辨率表征。Orion还集成了先进的多通道信号调节模块,允许机器同时测量四个表面参数。该模块测量曲面尖峰的角平坦度、曲面的突出部分、厚度变化或曲面结构尖端之间的距离。它还测量样品在多个方向上的表面结构和信号截面的最大突出高度。该工具配有直观的图形用户界面,允许操作员快速设置测试,选择测量参数,测量样本特征,实时可视化结果。该软件还提供了强大的校准工具和各种工具配置。所有使用NANOMETRICS Orion掩模和晶圆检验资产获得的测量都具有很高的准确性和可重复性。该模型旨在满足对工业和实验室应用的最严格和最苛刻的要求。它为掩码和晶片表面表征提供了完整的解决方桉,包括地形、SPI、SEM、AFM、SEM-EDX或OWLS应用。
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