二手 NANOMETRICS RPM Blue #293602377 待售
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NANOMETRICS RPM Blue是一种高度先进的掩模和晶圆检测设备,用于分析和审查光掩模、电子束图样和介电材料,以确保最高质量水平。该系统专为实现最佳性能而设计,可实现超高分辨率成像和分析。它具有自动化的晶圆图库,可快速高效地收集数据,灵活的用户界面支持较小的连续重新布局功能,以及广泛的算法,可实现复杂的特征识别和自动缺陷分类。NANOMETRICS RPMBLUE还具有自动聚焦和曝光设置,以提供高产光掩模分析。其前端光学器件具有可调节的镜头对焦和五种可编程的光圈状态。该单元还具有高度适应性,其集成的舞台机器配备了先进的XY对齐功能和动态XY采样精度,可调整视场大小以精确适应测试模式的大小。此外,该工具的光谱滤波器可即时调节,并提供不同层的光谱丰富图像。RPM BLUE带有增强的成像和测量软件,旨在使用户能够更好地了解晶片或光掩模的质量。资产可以创建晶圆图像特性的表和直方图,如模具尺寸、散射和暗场、接触孔和线宽等。它还具有强大的统计功能,使用户能够快速准确地比较多种模式。该产品还包括一个高级模式分析和审阅工具包(P.A.R.T., P.A.R.T.),帮助用户高效快速地评估不同的测试规范,以动态识别异常和缺陷。它还带有"信息管理工具",可帮助用户快速存储、检索和报告所有数据。简而言之,NANOMETRICS RPM BLUE是半导体设计、掩模和晶圆检测的一站式解决方桉,其先进能力和成果均超过行业标准。
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