二手 NANOMETRICS SDP-2000T #9354596 待售
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NANOMETRICS SDP-2000T是一种用于评估半导体掩模和晶圆几何形状的完整性和准确性的掩模和晶圆检测设备。该系统可以使用光学图像和数据采集技术对二维和三维特征进行自动测量。其长度和角度测量可实现高可重复性,提供生产线的可靠性。该单元由两个主要模块组成;掩模检查检查模块和晶圆检查模块。掩码检查模块包括自动对齐功能,可快速准确地测量多个掩码。此外,它还提供晶片到掩模的对齐和迭加测量,插值可达40倍,并对隔离缺陷进行光学检查。晶片检查模块能够对平板晶片和阶梯式晶片进行检查。机器可以使用2D曲面映射技术,每平方毫米获取40到200个数据点,这取决于设置参数。可以在用户定义的区域中定义测量点,以便于检索。检查结果可自动保存到工具中,进一步作为内部数据库处理,或导出到外部数据库。资产还包括先进的图像处理和过滤功能,能够加强质量控制和进一步分析测量的模式。此外,模型还提供各种显示模式,如立体声或单视图投影,以及3D立体显示。相应的软件也具有很高的灵活性,允许用户定义设置,并使用户能够轻松自定义操作。总的来说,SDP-2000T提供了非常可靠和准确的性能,在面罩检查和晶圆检查.它的灵活性使其能够轻松融入现有生产线,其先进的成像能力可以提供有关半导体件形状和组成的准确信息。因此,该设备对质量控制应用非常有用,可确保对各种材料进行准确的测量。
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