二手 NANOMETRICS Vertex #9379059 待售

NANOMETRICS Vertex是一个掩模和晶圆检查系统，旨在支持先进的工艺节点和应用，包括finFET技术。配备了先进的图像操作和先进的模式识别能力。该系统可用于改善晶片光刻工艺中主动层和被动层的临界缺陷检测。它由一个独特的图像采集引擎组成，可以获取具有总亮度均匀性和清晰度的顶部和底部图像，以及提供均匀照明和卓越图像质量的高性能光学模块。顶点还可以配置几种高级图像操作功能,其中之一是获得专利的图像相交技术（IT）,它能够检测保形防反射涂层（CARC）,以及微桥和缺陷水坑等子分辨率特征。它还带有一个分析匹配模块（AMM），这是一个用于缺陷识别和分类的计算机辅助过程。该系统还设计了高速数据存储容量、板载多级缺陷识别引擎,以提高效率和准确性,以及实现缺陷自动审查和注释的功能。此外，还可以配置用于故障分析的数据采集和分析引擎，便于操作和设置的下拉菜单，以及用于各种应用的不同摄像头头模块。最后,可以将NANOMETRICS Vertex与各种自动化解决方桉集成在一起,用于自动缺陷审查和注释、缺陷跟踪和趋势分析。它还支持各种晶圆层和计量操作的自动缺陷排序和排序。