二手 NAPSON NC-3000F #9123347 待售
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NAPSON NC-3000F是一种强大的掩模和晶圆检测设备,旨在提高半导体制造质量和降低成本。该系统提供全场、同时捕获掩模和晶片特性,使用自动、精确的光学检查和监视掩模和晶片图样。该部门采用专有的先进技术,结合模块化硬件配置和行业解决方桉,从而提高了定性和定量性能。该机器由三个主要组件组成,一个精密光学成像仪和一个特殊的光学包以及一个庞大的数据收集软件库。NC-3000F使用具有高动态范围、高信噪比和高能效激光激发功能的专有成像工具来实现无与伦比的分辨率和动态范围。光学封装具有双重曝光功能,允许同时进行掩模和晶圆检查。庞大的数据库包括全自动和可定制的软件,可实现全面的分析和可定制的报告生成。NAPSON NC-3000F也有多种检查模式,包括自动面罩检查(AMI)、面罩对晶圆注册(MWR)和光学飞行测试(OFT)。AMI从顶侧和底侧模式提供掩模模式的高速评估,并提供平面和/或3D自动检查的选择。MWR自动对齐掩模和晶片图样,以提高精度和质量。OFT允许对样本模式进行多次无损光学飞行测试的自动化性能,从而为用户提供可靠且可重复的数据。资产还包括4轴XYZ-theta级,可实现掩码和晶片结构的高精度对齐,减少与掩码数据验证和校正过程相关的成本,并提高产量。自动对齐允许可重复性、稳定性、精度和准确性。此外,该模型还采用了先进的光源干涉计量法,以实现精确的性能和特性。集成的高速模式匹配(HSSPM)设备提供了模式识别的准确性和可重复性。NC-3000F是一种有效且通用的工具,提供了一系列全面的成像、注册和检查功能。它旨在节省成本和提高半导体制造工艺的质量。该系统适用于实验室和工业环境中的广泛应用,设计具有最高水平的安全性和可靠性。
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