二手 NIKON 3A #9272638 待售

NIKON 3A是为高通量检测和缺陷分析而设计的先进的掩模和晶圆检测设备。该系统配备了全镜头光学器件和高光强度，可以对掩模和晶片进行高分辨率成像。3A的设计考虑了最具挑战性的工艺需求,能够检查全景,扫描高达25 nm的特征尺寸。NIKON 3A单元由一个包含晶圆或掩模旋转级的电动模块和一个独特的4象限光学机器组成。该光学工具的设计旨在优化光强度和对比度,从而实现图像质量和缺陷检测方面的最高性能。高灵敏度和对比度是用低波纹光度法实现的，这种光度法允许操作员设置检测阈值，并针对各种批次类型自动调整，便于调整检测经验。成像方面，3A资产用途广泛；它可以配置为检查反射和透射面罩和晶片。有几种成像模式，包括明场、暗场、模拟明场和斜离轴照明。它还能够识别和检查1D、2D和3D形状的缺陷。NIKON 3A模型的用户友好界面甚至允许新手用户利用高级特征检测功能。直观、用户友好的界面也让用户很容易根据自己的特定需求定制检测设备。此外，3A系统集成了自动模式识别和识别算法，快速识别和分类缺陷的形状和大小。总体而言，NIKON 3A是一个独特的检查单位，设计用于对面膜和晶片进行高效和非常详细的检查。3A具有高光强、全镜头成像、可调检测阈值、成像模式和自动模式识别分级算法，是掩模和晶圆检测分析的理想机器。