二手 NIKON AMI-3300 #293670595 待售

NIKON AMI-3300是提供快速、高分辨率检测的全自动掩模和晶圆检测设备。AMI-3300配有400毫米远心物镜和16位CCD相机,提供高分辨率成像,能够精确检查掩模和晶片表面。该系统的可调放大倍率、工作距离和视场提供了快速准确地检查包括标线、掩模、微结构和晶片在内的各种样品的能力。NIKON AMI-3300的500 mm X-Y级提供全样本覆盖,具有闭环、高分辨率纳米级定位和可重复性。此外，AMI-3300还配备了自动化聚焦子阶段，在工作距离和视野方面提供快速准确的变化，以适应不同的样品。NIKON AMI-3300的软件在测量焦点位置以实现最佳焦点捕获的同时,自动对掩模或晶片执行所有必需的焦点调整。AMI-3300包括一个综合缺陷测量单元，它提供了检测、分类和量化各种缺陷的能力。机器的自动边缘检测、基于颜色的边缘检测和模式识别技术用于检测任何缺陷,如线边、线宽、线距、平整度、迭加精度、过程不对齐、泄漏和迭加。此外,还使用该工具的自动边缘校正功能来检测由于光刻针刺而剩余的任何边缘步进,从而生成成功的设备缩放所需的精确和精确的边缘清晰度。NIKON AMI-3300具有直观的用户界面和软件,可轻松设置和操作资产。大型21.3英寸液晶彩色显示器能够快速浏览型号的菜单和操作,而USB和网络端口则可以快速简单地连接任何外部存储设备。设备还包括自动作业执行和计划作业执行功能,使用户能够规划和保存测量作业以供以后使用。总体而言，AMI-3300是一种高分辨率的掩模和晶圆检测系统，提供了可靠可靠的检测能力。NIKON AMI-3300具有可调放大倍率、对焦子级、大X-Y级、自动化缺陷测量功能，是精确掩模和晶圆检测的强大解决方桉。