二手 NIKON NRM-3100 #9386878 待售

NIKON NRM-3100是为经济的高分辨率表面检测而设计的最先进的掩模和晶圆检测设备。通过将反射光学系统设计与强大的光学设备和摄像头选项相结合,NRM-3100可以在高达12英寸的大视野中实现高分辨率成像。该设备可以检查在面膜和晶片生产中常见的各种关键地形特征以及人眼看不见的详细缺陷。NIKON NRM-3100配备了先进的光学器件和电动级，便于对大样品进行精确成像。光学机器由宽带光源、镜头和高分辨率摄像机组成，这些摄像机通过径向臂安装在可调Z轴级上。径向臂便于调整和调整光学工具与目标样品。此外,自动聚焦机构可缩短测量设置时间,并确保在检查的每一阶段都实现最高分辨率的成像。NRM-3100将亮场、暗场和Koehler照明技术与LED和衍射光栅照明源相结合,为晶圆和掩模检查提供了一种通用的图像捕获方法。这种照明源的组合增强了信噪比，并允许更准确地检测即使是最具挑战性的缺陷。此外,多波长技术允许资产以高灵敏度测量各种缺陷类型,而无需物理滤波器。先进的无区域光学器件和多镜头成像还确保对每个检查点进行精确的深度测量，以便准确识别和定位样品上凸起的缺陷特征。NIKON NRM-3100还配备了独一无二的双视图光学模型，允许它从两个不同角度拍摄同一个检查站的多张图像，以便过滤出虚假警报。NRM-3100利用强大而灵活的检查软件包分析检查结果。此高级软件使掩码和晶片工程师能够快速准确地识别潜在缺陷,并提供了广泛的过滤选项来对缺陷进行分类,从而确保准确的缺陷计数。总之，NIKON NRM-3100是一种功能强大、成本效益高的掩模和晶圆检测设备，能够准确可靠地对大样品进行高分辨率成像。通过结合先进的光学和成像技术，NRM-3100确保即使在检查具有挑战性的样品时也能进行最高质量的检查。