二手 NIKON NRM-3100 #9401531 待售

NIKON NRM-3100是一种高度精确的掩模和晶圆检测设备，设计用于检测异常精确的缺陷。它具有高灵敏度、高分辨率的微光刻系统，能够解决纳米级缺陷。该装置的分辨率为50纳米，纳米过度曝光的探测动力为4,500：1，高吞吐量率高达每小时4,500晶圆。NRM-3100既可用于标线检查，也可用于晶圆检查，其可扩展平台可用于检测同一设备上的大小模式。NIKON NRM-3100具有内置的自动操作机（AOS）,可加速掩模/晶圆检查过程,并最大限度地缩短完成所需的时间。它通过使用自动模式识别、缺陷识别和分析，在几分钟内给出全面的检测结果。高度精确、高速的模式、值和缺陷自动测量使用户能够快速识别和修复任何问题。NRM-3100先进的光学工具利用自动聚焦图像采集资产和可编程的机动化级,在整个检查过程中对准确性和速度提供了出色的控制。该模型的出色视场设计旨在为操作员提供确定晶圆之间差异的优化经验。NIKON NRM-3100还具有直观的图形用户界面（GUI）以简化用户与设备的交互。这种用户友好的界面使操作员能够快速轻松地查看和修改系统设置,从而实现快速周转性能。此外，NRM-3100是唯一一个配备了NIKON非接触式静态缺陷测量模块的单元，它精确地测量和记录来自晶圆边缘的静态缺陷。总体而言,NIKON NRM-3100是一种先进的掩模和晶圆检测机,能够提供详细的结果.它配备了高端的Mini-Lithography工具，并提供高分辨率的检查来检测最小的缺陷，结合支持自动化操作来更快地完成工作。此外，方便的图形用户界面和静态缺陷测量模块使NRM-3100成为精确、可靠和经济高效的晶圆检测的理想选择。