二手 NIKON NRM2 #9148415 待售
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NIKON NRM2是一种用于快速、准确和可靠检测晶圆缺陷的掩模和晶圆检测系统。它将先进的成像技术与自动光学和光刻检查相结合,使操作员能够评估晶圆的几何形状、地形、平坦度和其他特征。NRM2配备了高倍率光学器件,每英寸分辨率可达到4,000像素以上。内置的3D激光扫描系统允许优化检测颗粒、划痕、凹坑等缺陷。提高的精度与先进的图像校正能力相结合,即使在常规分析中也能检测到小颗粒和其他微量缺陷。NIKON NRM2还能够对无缺陷晶片进行模式识别。它提供了广泛的功能,包括自动缩放功能、改进的缺陷识别算法,包括自动计量分析和计算光刻测量工具。还支持自动缺陷检测以及超高分辨率成像,以增强对最佳缺陷的检测。高级自动化功能还增强了NRM2的可用性和性能。功能强大但直观的用户界面简化并加快了操作速度。利用简化的工作流管理技术,以完全的控制和准确性指导用户完成检查过程。除了自动检查外,NIKON NRM2还配备了先进的图像处理系统,可以在纳米级检测、分类和搜索缺陷。此高级功能支持范围广泛的特定于应用程序的缺陷检测功能,从底部模式评估到逐层晶圆检测。NRM2结合了先进的成像技术和自动检查,使其成为根据晶圆的物理特性检测和评估晶圆的强大而高效的工具。
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