二手 NIKON Optistation 3 #293594406 待售
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ID: 293594406
晶圆大小: 8"
优质的: 1998
Wafer inspection system, 8"
(5) Objectives
Turret
Power unit box
1998 vintage.
NIKON Optistation 3是一种综合性的掩模和晶片检测设备，设计用于在半导体制造过程中对抗蚀剂、溅射膜、光刻工艺和晶片进行高效可靠的检测。它采用模块化设计,支持内联和离线配置,以及多种掩码和晶圆类型。NIKON OPTISTATION-3系统的核心是其高功率光学单元，具有先进的光头和四个成像级别。该光学器件采用NIKON先进的宽带多段LED照明和高达5倍的光学变焦。它能够检查多达16 "x 20"的蒙版或晶圆视场,并且可以在单次曝光时检测到高达0.2 μ m的特征。它还具有先进的软件技术,例如快速的图像处理和分析,以及自动化的过程控制,从而可以更快、更准确地进行检查。其高速图像捕获和3D空间图像关联（SIC）技术消除了误报，而其模式匹配技术（PMT）则确保了可重复结果。Optistation 3还包括一套审查和日志记录工具,可支持实验室和在线检查需求。它可以提供跨多个掩码图像以及跨多个晶圆层的比较数据相关性。它还具有一个综合数据库，可以快速检索和存储检查结果。该机符合SEMI规范，旨在提高周转时间，降低成本。它广泛的兼容性使其能够与其他工厂自动化过程集成，如GDSII文件流和设计布局比较。最后,直观的用户界面和全面的文档使OPTISTATION-3易于使用和操作。综上所述，NIKON Optistation 3是一款功能强大、灵活可靠的掩模和晶圆检测工具，提供卓越的准确性和可重复性。它拥有高功率的光学资产、先进的软件技术以及一套审查和记录工具,使它能够满足多种半导体制造要求。此外,它符合SEMI规范、广泛的兼容性和用户友好的界面,使其成为满足各种掩模和晶圆检测需求的合适解决方桉。
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