二手 NIKON Optistation 3 #62571 待售

NIKON Optistation 3是为高通量和高分辨率半导体型式检测和计量设计的集成掩模和晶圆检测设备。该系统用于生产和研究应用,如自动临界尺寸（CD）测量、光学缺陷审查（ODR）和迭加测量。NIKON OPTISTATION-3的先进光学器件提供的高分辨率图像具有小于1 Angstrom/µm的景深和在所有波长下低于2%的线性度。该单元产生令人惊叹的高对比度图像，方便优秀的模式和缺陷审查与准确的判断。ODR应用程序允许操作员以非常高的精度检查晶片是否存在匹配错误和模式缺陷。它还提供了暗场光学反转图像，帮助区分图样缺陷和随机粒子缺陷。该机采用双级自动化舞台处理工具，相对于远距离目标和特定位置精确、可重复、快速定位模式。该资产还采用了自动晶圆居中模式，使晶圆能够快速、方便地居中进行检查或计量。集成控制器利用高度定制和直观的用户界面,使用户能够更快地设置检查和计量任务。控制器还具有高级调试功能和模型记录功能,允许用户快速高效地排除错误。该设备能够与其他供应商的内联工具集成,从而实现快速、高效和无缝的结果。在全天候提供支持的情况下,客户满意度和高质量的结果得到保证。Optistation 3是生产环境中半导体模式检测和计量的基本工具。其先进的特性，如高度可靠的光学、自动化晶片定心和双级，使其成为任何半导体工艺生产线的必备系统。有了OPTISTATION-3，半导体工程师可以放心，无论应用是什么，他们都会取得最好的成绩。