二手 NIKON Optistation 3 #9171326 待售
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NIKON Optistation 3是最先进的电子面罩和晶圆检测设备。它旨在为用户提供要求苛刻的半导体IC光学检查所需的高精度、高速和数据精度。该系统是一个全自动的掩模或晶片对准工具,可提供高精度成像和对掩模和晶片特征的详细测量,单位精度± 1 μ m。它具有广泛的特点,使其适合各种光学检查。NIKON OPTISTATION-3拥有一个新的高精度12英寸CCD相机,它能够提供高达1000倍的放大倍率,并提供高达6.3毫米的视野和微观精度。它具有三轴电机操作机和可调节0.5X到1000X的放大功率控制工具。它还为更高分辨率的图像提供20秒的曝光时间。CCD摄像机的稳定性是最适合苛刻操作的关键特性之一。Optistation 3还提供了一系列具有三种同时电子光束检查模式的检查功能。其中包括检测电路模式的现场检测、检测晶圆结构的全局表面检测以及扩大检测范围的外围现场检测。它还提供了一个图像覆盖功能来比较多层的紧密遮蔽模式。为了最大限度地提高掩模和晶圆检测的精度,OPTISTATION-3具有集成的防撞、精确的场匹配和自动对焦功能。集成的防撞功能尤其能够提高准确性,并通过避免光学器件与被检查对象之间的碰撞来消除错误数据。为进一步提高检查操作的准确性和效率,NIKON Optistation 3配备了功能齐全、优化的数据采集和分析资产。它还能够执行各种数据分析以及生成数据报告。最后,NIKON OPTISTATION-3是一款极耐用的车型。该设备经过长期稳定可靠的设计,非常适合连续运行。
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