二手 NIKON Optistation 3000 #9372005 待售

NIKON Optistation 3000是为下一代半导体产品的高精度、高通量生产而设计的全自动掩模和晶圆检测设备。该系统有一个先进的光学成像单元，包括高性能的目标，以及可见和红外敏感的光电传感器。Optistation 3000利用独特的过程控制机、精确定位和自动边缘查找算法,确保了晶片和掩模的精确、高速自动检查。NIKON Optistation 3000的核心是精确的3D扫描工具和高级软件算法。Optistation 3000利用大直径物镜、高性能定位器和高级软件例程,能够检测和测量广域缺陷,以及按纳米尺度排列的极小局部缺陷。使用2D和3D Edge Find（包括Edge Searcher）时,NIKON Optistation 3000会自动定位晶圆或掩码的边缘,并相应地执行检查路径。Optistation 3000装有独特的定制偏振模块，允许精确的光学特性、测量和缺陷检测。同样，资产配备了综合聚焦跟踪模型，能够根据检测到的样品表面垂直高度差不断监测和调整聚焦。NIKON Optistation 3000还通过其复杂的审计跟踪库提供了全面的可追踪性,该库存储和记录详细的检查结果、生产、工艺、操作员和批量ID信息。此外,该设备还提供了一个可选的高质量线性测量包,用于检查样品迭加图,以及检查OSML掩模焦点值。综上所述,Optistation 3000是一个功能强大、可靠的自动掩模和晶圆检测系统,适用于高精度、高通量的生产环境。NIKON Optistation 3000具有大直径物镜、先进的光学成像和偏振单元以及独特的过程控制算法,可提供精确可靠的性能。