二手 NIKON Optistation 3100 #293587009 待售

NIKON Optistation 3100是用于亚微米技术的高精度、自动化的掩模和晶圆检测设备。该系统具有较大的工作区域、精确的旋转级以及各种可选的质量保证支持。它旨在满足IC制造商、半导体设计公司和测试/检验实验室的要求。NIKON OPTISTATION-3100采用先进的照明和成像技术,能够以极高的精度检查晶片和掩模,从而确保满足最严格的设备和组件要求。Optistation 3100结合了一台高分辨率的长工作距离计量显微镜，总共有8个运动轴，使其能够在二维和三维设置中检查广泛的掩模和晶圆图样。它具有0.005mm的扫描分辨率，最大视野为200 mm x 200 mm。连同其强大的照明引擎，运动阶段能够做出精确和可重复的运动，使其能够精确测量面罩几何形状和边缘轮廓到亚微米级。OPTISTATION-3100由NIKON创新成像和分析软件控制。该设备能够使用清晰、高分辨率的图像可视化几乎任何类型的缺陷。此外,它还具有强大的分析工具,包括诸如迭加、临界尺寸、缺陷审查、自动校正、配准和多个测量功能等变量。这允许用户将图像分类和分类到不同的组或类型中,有效或自动针对感兴趣的区域,并对通过/失败标准做出自动决策。除了成像功能外,NIKON Optistation 3100还包括一系列高级特征测试和模式模拟过程。可检测错位交叉口、悬挑、边缘损耗、迷宫等各类缺陷。机器还可以根据预定义的规则模拟/模型模式，这些规则可以用作进一步比较的参考模式。NIKON OPTISTATION-3100还配备了自动对准工具，以确保准确的后续检查。直观的用户界面和通用的校准方法进一步简化了设置、传输和操作。总之，Optistation 3100是高精度掩模和晶圆检测的理想选择。凭借其最先进的成像和分析能力，确保了可靠的缺陷检测和设备一致性。