二手 NIKON Optistation 3100 #293807059 待售

ID: 293807059
Wafer inspection system.
NIKON Optistation 3100是为提高微电子元件的整体质量而设计的掩模和晶圆检测设备。其独一无二的精密光学、先进的软件和优化的硬件相结合,可以对平面图桉进行高效的检查和分析。NIKON OPTISTATION-3100提供卓越的图像清晰度、检测和过程自动化,以帮助确保实现最高分辨率的成像。Optistation 3100具有高性能光学系统,它使用倒置的光学单元来提供清晰清晰的图像。该机采用电动变焦镜头、二维XY级和激光自动对焦工具,便于调整光学特性。这种光学组合允许最大光学资产放大倍数为2000倍,图像大小可达256微米。OPTISTATION-3100还包括一个先进的成像软件包,可以检测缺陷低至25纳米。NIKON Optistation 3100通过提供手动和自动化阶段,在功能上提供了极大的灵活性。手动阶段允许简单的相机调整和晶片的快速加载。自动化阶段可用于缺陷分析和图像采集,不需要操作员。自动化阶段有四个可调的四向参数:光斑大小、图像大小、晶片在舞台上的位置以及舞台在显微镜上的位置。NIKON OPTISTATION-3100的这一特性使得它非常适合检查复杂和复杂的模式。Optistation 3100具有高分辨率CCD摄像头,可提供高质量的图像捕捉。摄像头连接到Optistation的高级软件平台,该平台提供用于检查、分析和数据管理的工具。该软件完全可定制,允许用户指定检查每个特定晶圆的参数和阈值。OPTISTATION-3100的设计考虑了安全性,包括紧急关闭模型、可调脚开关和光学器件的安全套。设备使用方便,需要最少的操作员培训。它旨在适应繁忙的实验室或生产环境的严酷要求。NIKON Optistation 3100非常适合长时间检查口罩、晶片和粘结集成电路。
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