二手 NIKON Optistation 3A #293821817 待售

NIKON Optistation 3A是一款高精度、尖端的掩模和晶圆检测设备。它专为可靠性、准确性和持续时间而设计,为所有类型的光掩模和晶圆应用程序提供了一整套检查功能。它通过直观直观的图形用户界面（GUI）提供自动化、用户友好的检查。它包括用于掩模缺陷识别和精细图样检测的高分辨率成像功能，以及二维（2D）和三维（3D）晶圆表面测量等功能。NIKON OPTISTATION 3 A具有先进的光束输送系统,可提高稳定性和准确性。集成的自动光学对准和自动对焦系统缩短了设置时间,并提高了图像的准确性。该装置还设有一个氮气净化室，可防止由于环境因素引起的光能色散和图像漂移。该机具有多种成像技术，可监控面罩图样的保真度、缺陷和低至0.5微米的变形。它提供了对各种模式的自动化全局检查,包括接触孔、逻辑门、电路和特定区域。此外,数据比较软件可确保精确测量并检测光掩码中的差异。该工具最多可存储10种检查配方,并且显微镜具有自动对焦功能,因此无需为每个掩模进行手动对焦设置。借助集成的无缝配方更改支持,Optistation 3A提供了不到45秒的快速晶圆更改时间。总体而言，OPTISTATION 3A是一种先进可靠的掩模和晶圆检测资产，具有先进的成像能力。NIKON Optistation 3A具有用户友好的界面、集成的光束传递模型和先进的图像识别软件,是自动掩码和晶圆检测应用的理想解决方桉。