二手 NIKON Optistation VII #293592368 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 293592368
Wafer defect inspection system, 12"
(2) FOUP Front end load ports
ASYST ISO Port FL300 with mapper and RF ID
ULPA Filtration system
Air suspension vibration isolation table
Standard microscope unit with automated control
Eyepieces: 10x
Objective lens: 2.5x
0.075 W.D. 8.8 mm
10x N.A. 0.300 W.D. 6.50 mm
20x N.A. 0.460 W.D. 3.10 mm
50x N.A. 0.900 W.D 0.42 mm
150x N.A. 0.900 W D.0.29 mm
Halogen lamp house: 12 V, 100 W
Robot controller
Ceramic robot arm
Macro unit A:
Wafer chuck
Macro movable unit
Slider assembly
Macro unit B:
Arched holder
Rotation unit assembly
Micro stage unit
XY Stage / Chuck
XYZ Drive unit
DART Controller: Image archiving and defect review
LCD Display
Keyboard / Trackball
Image capture board:
Integral technologies video card
SONY DXC- 9XX/MD Camera.
NIKON Optistation VII是一种灵活、高通量的掩模和晶片检查设备，可提供对掩模和晶片的快速和自动检查。该系统在缺陷检测方面提供了卓越的精度，能够检测小至0.2至0.8微米的模式。它还为检查各种不同的材料提供了广泛的多功能性，包括光掩模、光刻面膜和晶片。该单元使用高速氙气频闪光源来照射样品，使用CCD相机来捕捉图像。成像机可以检测到亚微米的差异以及远远超出可见光光谱的信号，这使得工具能够精确检查缺陷和亚微微结构。其4K像素CCD阵列支持极精细的检测分辨率，资产具有5倍至2500倍的强大放大能力。该型号有一个大的12 x 12英寸的检查区域,使其能够快速且无破坏性地覆盖材料的密集区域。其恒定的深度聚焦确保了整个过程的高精度和一致性,因此图像始终清晰清晰。此外，在不需要人力参与的情况下，设备可以进行自动扫描和分析而不会中断。此外,Optistation VII还配备了用于自动特征检查的高级软件。它具有强大的缺陷检测引擎，用于检测颗粒、缺陷、微小缺陷和不规则性。该软件还配备了强大的编程功能，使用户能够创建自动序列来检查多种类型的特征。NIKON Optistation VII旨在提供对口罩和晶片的自动化、可靠和高精度的检查。具有广泛的多功能性、先进的软件功能和卓越的精确度，这对于需要高度精确度的检测应用来说是一个理想的选择。
还没有评论