二手 NIKON Optistation VII #293645159 待售

NIKON Optistation VII是一款先进的面罩和晶圆检测设备，设计用于满足大批量制造的需求。该系统采用两个高分辨率探测器，在单个设备中同时进行晶片和掩模检查。它支持晶片各层的光学缺陷检查，包括正面、背面和覆盖层，以及掩模缺陷。其先进的光子计数检测器技术允许卓越的分辨率，使其能够检测小缺陷并产生无缺陷的掩模。Optistation VII为任何给定的检查任务部署了四种不同的光学系统，包括亮场、相差检测器（PAD）、相移缺陷（PSD）和相移相机（PSC）模式。亮场单元使用透射可见光，使操作员能够快速准确地识别和分析缺陷。PAD机利用近场光学显微镜检测相位发展，使医师能够查明和纠正相位异常。PSD工具使用密闭光子控制来精确测量检查期间的相移，而PSC资产则收集相位数据并将其分配给物体或表面积测量。此外，该模型还提供了几种专门为掩模图桉和晶圆制造量身定制的先进检验技术。自动对焦（AF）功能自动调整显微镜物镜设置，以确保尽可能高的图像质量。溷合脉冲相位技术进一步辅助AF光学聚焦，而垂直校正技术则确保边缘非常精确地垂直于焦点设置。Splitting Focus技术允许视场中的点以不同的方式聚焦,从而提供更清晰的图像。NIKON Optistation VII是一种高度通用的设备,它可以使用脚本管理系统自动执行检查任务并确保高吞吐量,从而扩展到完整的生产环境。它还配备了符合人体工程学的S-VGA显示器以显示实时检查结果，以及直观的GUI以方便操作。此外，该单元还具有双重图像查看模式，该模式覆盖从两个探测器拍摄的图像，使检查更加容易。Optistation VII是一款可靠、功能强大的掩模和晶圆检测机，具有极大的灵活性和一系列先进技术。它是大批量制造的绝佳选择,因为其强大的设计和多用途的特性可确保任何给定的检查任务都能获得准确可靠的结果。