二手 NIKON Optistation VII #293652861 待售

ID: 293652861
Wafer inspection system.
NIKON Optistation VII是专门为满足半导体和液晶行业光刻作业需要而设计的掩模和晶圆检测设备。Optistation VII提供多光束、多通道、多种照明类型的解决方桉。这样可以同时检查多达16个不同的遮罩层和/或从一个遮罩基板进行多次拍摄。NIKON提供了各种工具,例如剂量敏感度、焦点敏感度和特殊投影,用于处理仍然更严格的面罩检查。NIKON Optistation VII也提供了先进的检测系统。其分辨率能力超过了传统的图像处理系统,允许在不使用专门算法的情况下快速识别关键缺陷。其专有的AFM(Adaptive Fault Map)功能,即使是极低对比度的遮罩基板上也能检测到停滞和零星的缺陷。Optistation VII的高速以太网通信电路有助于将数据和图像从设备传输到后端进程。这使工程师能够评估缺陷数据并快速做出决策。此功能的另一个好处是允许两个操作员共享计算机,从而降低成本并简化操作。该工具具有先进的对齐资产-NIKON OAS(正交对齐模型)-通过自动调整设备参数以匹配基板来简化操作过程。这样可以最大程度地减少两次检查之间的设置时间,并在最具挑战性的检查环境中实现快速对齐。该系统旨在提供一个稳定可靠的平台,同时达到质量和安全的最高标准。它经过UL、CE和CSA认证,并配有广泛的软件和硬件接口,以确保平稳运行和工作流程。NIKON Optistation VII在最恶劣的环境中提供经济高效的检查解决方桉。该单元的集成环境控制确保了机器的安全、可靠和低维护。Optistation VII通过其先进的检测工具和简化的自动化操作,提供了最高质量的结果,最大限度地提高了吞吐量并缩短了实现结果的时间。
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