二手 NIKON Optistation VII #9171873 待售
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ID: 9171873
晶圆大小: 12"
Wafer defect inspection system, 12", parts machine
(2) FOUP Front end load ports
ASYST ISO port FL300 with mapper and RF ID
ULPA Filtration system
Air suspension vibration isolation table
Standard microscope unit with automated control
Eyepieces: 10x
Objective lens: 2.5x
0.075 W.D. 8.8 mm
10x N.A. 0.300 W.D. 6.50 mm
20x N.A. 0.460 W.D. 3.10 mm
50x N.A. 0.900 W.D 0.42 mm
15x N.A. 0.900 W D.0.29 mm
Halogen lamp house: 12 V, 100 W
Robot controller
Ceramic robot arm
Macro unit A:
Wafer chuck
Macro movable unit
Slider assembly
Macro unit B:
Arched holder
Rotation unit assembly
Micro stage unit
XY Stage / Chuck
XYZ Drive unit
DART Controller: Image archiving and defect review
LCD Display
Keyboard / Trackball
Image capture board:
Integral technologies video card
SONY Camera: DXC- 9XX/MD
Includes:
Robot
Sensor ARM
Power supply
Magnetic track
Controller.
NIKON Optistation VII是一种综合先进的面膜晶片检测设备.它具有具有多个成像平台的高亮度图像传感器，非常适合各种检查任务。该系统特别适合于晶片光刻和掩模检测中微小缺陷的精确识别。该装置装有四色CCD传感器,能够捕获分辨率高达传统掩码和晶圆检测系统10倍的彩色图像。它还结合了内置的DLP投影技术，提供出色的亮度、分辨率、饱和度和动态范围。DLP技术还提供了无与伦比的一致性和一致性,因此其图像质量优于传统系统。Optistation VII还具有最先进的光学元件,可清晰清晰地成像。它利用先进的波前传感和校正技术来消除光学像差。这确保了一个超锐利的光学机器，能够检测非常精细的特征在晶圆和掩模检查。该工具包括一整套图像处理和分析工具，如自动对齐、缺陷审查、模式匹配和动态图像增强。图像处理和分析工具可用于识别和分析晶圆和掩模检测中的缺陷。此外，NIKON Optistation VII还包括自动对焦、3D缝合、高级图像处理算法等多项其他高级功能。资产还具有集成的统计生成功能,能够对每次检查运行的结果进行详细分析。Optistation VII是用于掩模和晶圆检测应用的理想解决方桉,提供卓越的性能和可靠性。它是晶圆和光刻制造中各种元件检测分析的有效模型。
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