二手 NIKON Optistation VII #9225598 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9225598
晶圆大小: 12"
Automated inspection station, 12"
With FOUP loaders
(2) FOUP Front end load ports:
ASYST ISO Port FL300
With mapper and RFID
Integrated ULPA filtration system
Air suspension vibration isolation table
Standard microscope unit with automated control
10x Eyepieces
Objective lens:
2.5x N.A 0.075 W.D 8.8 mm
10x N.A 0.300 W.D 6.50 mm
20x N.A 0.460 W.D 3.10 mm
50x N.A 0.900 W.D 0.42 mm
150x N.A 0.900 W.D 0.29 mm
Halogen lamp house: 12 V, 100 Watt
Robot and robot controller
Ceramic robot arm
Ceramic rotation arm
Macro unit (A): Wafer chuck
Macro movable uni
Slider assembly
Macro unit (B): Arched holder
Rotation unit assembly
Micro stage unit:
XY Stage / Chuck
X, Y, Z Drive units
Dart controller for image archiving and defect review
LCD Display
Keyboard & trackball
Image capture board
SONY Camera: DXC-9XX/MD.
NIKON Optistation VII是一款先进的掩模和晶圆检测设备，具有集成的高分辨率晶圆级摄像头、超高分辨率光学器件、先进的照明技术和精密的软件。Optistation VII允许对用于制造半导体集成电路的掩模和晶片进行快速、准确和无损的检查。NIKON Optistation VII凭借其先进的功能,提供了一个全面的系统,用于检查口罩和晶片,查找缺陷、异常和模式缺陷。Optistation VII专为金属和光掩模的光学检查而设计，配有特别设计的显微镜，可容纳10倍的最大视野和20.4 μ米的最大分辨率，以确保精确的检查。一个反射率分光光度计集成用于比色测量，NIKON Optistation VII能够检测面罩反射、镜面高光和其他形式的材料缺陷中的丝毫不规则性。Optistation VII也有一个高解析度的晶圆级照相机，允许在16nm的精密级对结构进行检查。相机采用CMOS图像传感器，视野宽3.8mm，分辨率1.5um，最大数据速率为56Gbps。相机可以调整到各种焦距，允许被研究材料的最佳分辨率和照明。检验单位提供了多种先进的照明技术，包括偏振、散射和倾斜照明，可以用来研究和分析尽可能最微小的特征。NIKON Optistation VII配备了强大的图像处理软件，可以检测和测量各种缺陷，如针孔、污迹、线条和图桉缺陷。实时识别缺陷，软件可通过定量缺陷分析创建详细报告。Optistation VII为广泛的行业提供了功能强大、灵活的掩模和晶圆检测机。NIKON Optistation VII凭借其高分辨率的光学器件、先进的照明方法以及用于检测和分析缺陷的软件，能够以顶级的精度和精确度对掩模和晶片进行高效的检查。
还没有评论