二手 NIKON Optistation #293608235 待售

NIKON Optistation mask and wafer inspection equipment provides precise, automated inspections of photomasks and wafer.其创新的光学和图像处理技术使用户能够快速准确地检查光掩模和晶片是否有缺陷和损坏。Optistation可以检测几种类型的缺陷,例如刮痕、斑点、空隙、裂纹、阵列变形、刮痕和针孔,即使在分辨率最小的阵列上,分辨率也高达5 x 5 μ m,这对于需要识别和修复最复杂设计中的缺陷的工程师来说是一个绝佳的选择。NIKON Optistation采用了多种技术，包括1.3百万像素相机、远程中心镜头、LED光源和投影光学器件，以捕捉晶圆和掩模的高质量图像。系统可以通过一次扫描检查整个晶片或特定的感兴趣区域。利用获得专利的物体移动和扫描电子设备，Optistation在扫描整个晶片时比传统系统快9倍。NIKON Optistation配备了先进的分析能力，使设备能够检测复杂的缺陷，以及与光掩码和晶圆相关的最常见问题。先进的图像分析算法对图像进行分析，并将其与参考设计进行比较，帮助用户识别制造中的错误或暴露过程的不规则性或系统缺陷。Optistation的直观界面使操作变得容易。所有的检测参数都是可调整的，并且可以从触摸屏界面上视觉选择，允许用户轻松保存和召回测试参数以进行可重复的检测。此外，为每次检查收集的综合统计数据允许进行详细的过程分析和优化。为确保检查的最高精度，NIKON Optistation配备了提高检查精度的明场和暗场方法。Optistation是一种可靠、高效的检测机，提供最精确可靠的结果。它使客户能够降低测试成本,同时提高流程质量并达到产量目标。