二手 NIKON Optistation #9218871 待售
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NIKON Optistation是在半导体制造中使用的一种综合通用的掩模和晶圆检测设备。它使用先进的成像技术、专门的光学、人工智能算法来检查各种类型的掩模和晶圆表面。Optistation结合了高分辨率成像系统,具有高精度和可重复性,以检测即使是最小缺陷的存在。NIKON Optistation利用先进的成像单元,包括数码相机、光源和图像捕捉光学器件。数码相机捕获掩模或晶片表面的图像,然后将其传输到连接的主机进行处理。光源从掩模或晶片表面反射,并创建由图像捕获光学器件捕获的图像。Optistation能够检查初级缺陷和次级缺陷。主要缺陷可通过工具的计算成像算法进行检查,而次要缺陷需要更复杂的分析,并考虑到每个缺陷的形状、大小和方向。该资产还可用于检查裸露和钝化的表面,并能够检测各种掩蔽问题,如桥接、针孔和暴露的介电材料。强大的AI算法NIKON Optistation使用可以识别本地化和整个掩蔽形状,如圆、矩形和正方形。Optistation还包括一个高精度的定位模型,它允许在X、Y和Z方向上快速和可重复的测量。这样可以确保设备捕获的图像与掩模或晶片表面精确对齐。此外,NIKON Optistation还提供了一些增强缺陷检测和可用性的功能。该系统包括一个集成显微镜,它允许用户更详细地放大和查看缺陷。此外,Optistation还配备了数字图像处理模块,可以检测图像随时间的细微变化。总体而言,NIKON Optistation是一个先进的掩模和晶圆检查单元,提供精确、准确和可重复性。Optistation通过利用先进的成像技术、专门的光学和人工智能算法,提供了检测和分析掩模和晶片缺陷的有效手段。
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