二手 OSI VLS-1 #176092 待售

OSI VLS-1是一种全自动的自上而下（明亮场）串联掩模和晶圆检测设备,专为要求苛刻的半导体应用而设计。该系统能够测量光刻掩模的关键光学参数，如缺陷检测、不透明度、反射率和对比度。此外，它还能够检测到晶圆表面的污染、微裂纹等非光刻缺陷。VLS-1使用亮场和暗场照明技术检查掩模和晶片。它配备了一个先进的8轴、高分辨率XY-Motor单元，允许面罩以微米精度精确定位。该机还配备了集成放大镜和激光扫描显微镜，可以在高达90微米的景深下检查高达256 x 256微米的区域。高速、高性能的CCD摄像头使工具能够以非常高的灵敏度检测到尺寸降至0.1微米的缺陷。OSI VLS-1软件设计用于过程控制和独立操作员控制。它与允许用户配置参数和保存结果的数据库资产集成在一起。软件界面用户友好且直观,允许快速、轻松地设置和分析数据。VLS-1提供了关键掩模和晶圆生产要求所需的无与伦比的精度和灵敏度。它直观、易于使用的界面能够快速访问结果,为过程控制和优化提供最大的灵活性。最后,OSI VLS-1为用户提供了一个经济高效的解决方桉,以提高产品产量、提高吞吐量并降低与掩码和晶圆检查相关的成本。