二手 PARAGON Ultra 60 #9203543 待售
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ID: 9203543
Laser imaging system
Minimum pitch: 50µm
Minimum feature size: 16µm
Data resolution: 2µm (12,700 dpi)
Edge roughness (3σ): ±1µm
Registration accuracy (FTG): ±8µm
Side to side registration (3σ): 15µm
Maximum substrate size: 558mm x 660mm 22" x 26"
Maximum image size: 508mm x 609mm 20" x 24"
Substrate thickness: 0.05mm to 3mm
Imaging wavelength: UV range, 355nm
Energy range: 10-2200 mJ/cm²
Different energy settings:
500 x 400mm, 4 Symmetrical targets, 6sec load/unload
10mJ/cm² - 80 panels/hour
20mJ/cm² - 80 panels/hour
80mJ/cm² - 35 panels/hour
10mJ/cm² - 30 panels/hour
120mJ/cm² - 25 panels/hour
Applications:
IC Substrates
Solder mask
Inner layers & outer layers
Sequential build-up layers
Flex & rigid-flex PCBs
Standard configuration:
Laser system
OPFX Input
RIP Server
8GB Raster memory
Scaling system & power vacuum
System options:
Hole-free inner layer registration
Partial scaling
Wise scaling
Stamping
2D Barcode stamp
Additional vacuum customization plate.
PARAGON Ultra 60是一种高精度的掩模和晶圆检测设备,可提供高性能产量的高级计量。该系统是专门为检查掩模和晶片缺陷而设计的，具有很高的精度、可重复性和可重复性。该设备可以检测与过程相关的缺陷、残留和不合格特征。机器使用先进的成像技术，能够成像面罩和晶片的前后两侧。这使工具能够准确测量特征和缺陷。该资产还能够对温度变化、沉积和材料阻力造成的缺陷进行临界检测和分析。该模型对图像和电气测量都使用精确的自动缺陷检测。这使设备能够准确识别和测量因工艺变化而产生的缺陷。光学系统还能够检测小阵列缺陷,如细线和/或工具分辨率小于2nm的其他特征。该单元还具有用户友好的图形界面，具有直观的控制面板和符合人体工程学的测量设计。这提供了简单的操作和数据解释，以及多种操作模式。Ultra 60配备了高达500 mm/s的超快速扫描速度,允许快速检测和分析缺陷。机器还兼容各种格式，如SEMI P-O或其他标准格式。该工具能够在干燥或潮湿的环境中操作，因此适合广泛的应用。资产还提供了一个广泛的视野，以便于发现和测量缺陷。其用户友好的控制面板包括一个标准的用户界面，方便数据通信。它还包括一组内置的比较算法，可以检测蒙版或晶圆的3D图像上的缺失结构、打印缺陷、错位和缺失通道。PARAGON Ultra 60旨在使用多种诊断工具,包括接触和非接触技术。它还能够高精度地测量工艺或材料相关缺陷。总之，Ultra 60是一种高效可靠的掩模和晶圆检验模型，它提供了高性能的高级计量。其用户友好的控制面板和宽广的视场提供了易用性，使其适合各种应用。
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