二手 PARLEC P2500A-0387 #9266043 待售

PARLEC P2500A-0387是一种高精度光学/扫描电子显微镜（SEM）和掩模和晶圆检测设备。该系统允许用户在纳米级查看和测量掩模和晶片的关键模式特征。P2500A-0387有一个高分辨率的SEM成像单元,用户可以查看和测量精细的阵列特征。它配备了先进的自动晶片扫描能力，可以用来自动映射整个晶片。其自动特征提取功能可以准确检测和测量缺陷、迭加数据的表征和特征分析。该机器能够检查各种面罩和晶片，从先进的工艺节点到低k介电层。此外,此工具还具有方便的用户界面,因此用户能够快速高效地与数据进行交互。PARLEC P2500A-0387利用光学成像工艺进行精细特征测量.利用扩频干涉法、边缘对比度法和无损红外成像技术，实现了高精度、高精度地测量地表地形。红外成像工艺可以检测和测量低k材料厚度，这对于高级工艺节点至关重要。SEM成像资产包括二次电子、反向散射电子和X射线探测器。所有这些探测器都可用于测量特征形状和尺寸参数。此外,用户还可以使用各种样本旋转功能,从而能够准确测量困难特征的3D地形。Mask&Wafer Inspection Model有强大的界面软件，为用户提供晶圆测量和分析的所有必要参数。它还支持各种功能强大的自动化工具,包括边缘检测、特征分析和迭加测量。总体而言,P2500A-0387是一种功能极其强大且精确的掩模和晶圆检测设备。它旨在使用户能够在纳米级测量关键模式特征，并能够充分利用高级工艺节点和低k介电层。此外，其高度交互式的用户界面和自动化功能使该系统成为任何EMS实验室的宝贵设备。