二手 PRISM VIT-128 #293587219 待售

PRISM VIT-128是KLA-Tencor开发的PRISM系列的最先进的掩模和晶圆检测设备。该系统能够检查用于制造集成电路的各种口罩和基板，并专门设计用于实现超高通量。VIT-128的强大检查能力是由它采用的独特技术组合而成的。在其核心位置，该单元利用一台高分辨率的四倍纳米点投影机，使其检测分辨率低于0.1微米。配合1.3兆像素相机，该工具能够实时检查蒙版和晶圆缺陷的投影和背光图像。此外，该资产的检查速度高达每小时100K晶圆，每月超过100万晶圆的高吞吐量。PRISM VIT-128利用可变聚焦四通道成像（FFT）和空间解析散射测量（SRS）等专利成像技术进行精确、可重复和可靠的检查结果。这提高了模型检测缺陷的准确性和灵敏度，从而降低了假阳性检测的速率。此外,该设备还利用了亮场、暗场和衰减的亮场照明模式,使掩模和晶圆图样更好地可视化,以检查各种层和基板。VIT-128提供了功能强大但灵活的自动化和手动缺陷审查,可以进行全面彻底的分析。它包括使用XYZ显微镜进行有力的基于晶片的审查，允许对复杂设备进行精确检查和对多种缺陷类型进行精确表征。此外,该系统还包括KLA-Tencor的缺陷来源映射DOM™技术,在识别缺陷及其来源时,可实现更高的控制和准确性。最后，该单元通过使用KLA-Tencor的TotalPrint™成像机提供对缺陷地形的实时访问。这使用户能够捕获和存储缺陷的图像,并将其用于进一步的分析和审查。利用TotalPrint的高分辨率图像,甚至可以比较不同检查站之间的缺陷检测,以便进一步进行工程验证。总体而言,PRISM VIT-128是一种高度可靠且功能强大的掩码和晶圆检查工具,可提供无与伦比的缺陷检测和表征功能。其高分辨率成像和创新缺陷审查功能使其能够高精度检测各种缺陷，从而确保无缺陷集成电路。