二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-930 #293633971 待售
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来自AUGUST Technologies的RUDOLPH/AUGUST AXI-930掩模和晶片检测设备是一个自动化的检测系统,旨在精确检查和分析半导体晶片和掩模基板。其先进的光学单元提供了对粒子水平和其他表面缺陷的快速准确的检查。AUGUST AXI-930能够在晶片上检测多达六个缺陷大小,最小扫描尺寸为30微米。该机器设计为在整个晶片上提供均匀的缺陷覆盖,最大晶片尺寸为200毫米。它配备了610万像素的本色相机,能够以每秒1000帧的速度捕捉全画幅图像。RUDOLPH AXI 930具有直观、易于使用的图形用户界面(GUI),允许操作员从预设库中进行选择或创建自己的自定义预设设置。这些设置包括可用于调整图像质量、分析缺陷布局和控制工具功能的滤波器和算法。GUI还允许用户查看和注释图像,以及选择感兴趣的区域(AOI)和测试模式。检查资产具有内置功能,使操作更简单,如自动晶片加载/卸载、图像缝合、3D模式校正模型和自动聚焦。此外,先进的光学技术允许更大的视场,从而可以检测到100纳米或更大的粒子和缺陷。RUDOLPH AXI-930可以容纳多个掩模和晶片基板,并且具有自动基板对准功能,能够快速、准确地对准多个基板。此外,还包括一个专利校准功能,通过自动在第一个和第二个视图字段之间进行精细对齐,最大程度地减少操作员的干预。RUDOLPH/AUGUST AXI 930 Mask and Wafer Inspection Equipment from RUDOLPH Technologies凭借其先进的光学、直观的用户界面、多重基板支持和自动对准功能,是半导体晶片和掩模检测的绝佳选择。它是半导体制造商寻找粒子水平和其他表面缺陷快速准确检测结果的理想选择。
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