二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-930 #9107569 待售

RUDOLPH/AUGUST AXI-930 Mask&Wafer Inspection Equipment将成像技术与精密的模式识别软件相结合，支持半导体Mask和Wafer的快速高效检测。利用先进的光学和运动控制技术,AUGUST AXI-930在整个晶片或掩模上每个显微镜视场检查多达9个"模具位置"场。RUDOLPH AXI 930的自动化就绪修改能够集成到各种工厂自动化系统中。AXI 930配备了脉冲360°激光二极管线扫描系统、目测和金属氧化物半导体场效应晶体管（MOSFET）电流供应单元，为用户提供了表面和边缘检测的单机。RUDOLPH/AUGUST AXI 930还具有可变放大倍率驱动器模块,可根据对象的比例自动将图像放大倍率从最小40X移动到最大500倍。AXI-930的内置漂移补偿保持最佳的图像焦点,无论晶片载荷如何受到手动处理的影响,还是晶片表面的热梯度导致晶片位置发生任何变化。该工具的图像采集和处理驱动程序软件设计用于在连接以太网的PC上运行,提供全场图像采集、显示和图像处理功能。图像可以存储为单个图像,也可以存储为多个图像位图。AUGUST AXI 930的模式识别模块，有两个版本，同时支持FDTD（有限差分时域）和Hough变换算法，并配有多个滤波和降噪算法来检测半导体器件上的缺陷。RUDOLPH AXI-930还具有实时图像处理和缺陷识别功能,使资产能够对缺陷属性的变化做出快速反应。此外,MetaCam软件应用程序能够以各种格式生成可打印的缺陷图像,同时自动记录每个检查周期的结果。综上所述，RUDOLPH/AUGUST AXI-930 Mask&Wafer Inspection Model结合了复杂的图像分析和模式识别软件以及先进的运动控制技术，快速准确地识别和定位半导体晶片和Mask上的各种缺陷。设备包括可变放大驱动器、实时图像处理技术、快速模式识别系统、全场图像采集软件等。AUGUST AXI-930是用于识别和测量半导体晶片和掩模缺陷的先进而可靠的工具。