二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-930 #9257476 待售

ID: 9257476
晶圆大小: 12"
Macro defect inspection system, 12" With loader.
RUDOLPH/AUGUST AXI-930是为有效缺陷检测和计量而设计的最先进的掩模和晶圆检测设备。该系统在单个单元中提供高分辨率的图像采集、成像放大和数据检查,从而能够对半导体材料进行质量控制。其模块化设计使其成为质量保证和过程控制的高效工具。AUGUST AXI-930具有内置的高精度石英光学单元,其光学放大倍数可达7倍,适合检查各种晶圆尺寸。它还包括一个具有多种映像功能的直观用户界面,允许自定义缺陷审查。先进的图像优化工具允许操作员选择最佳的图像进行精确的缺陷检测。RUDOLPH AXI 930包含高分辨率CCD相机,用于捕捉高精度图像。它还具有发光二极管(LED)照明机,提供均匀和精确照明的成像区域均匀的光。这种LED提供了很大的动态范围,允许用户以最小的阴影进行精确的测量。自动校准功能缩短了设置时间,自动缺陷分类算法有助于加快过程评估。此外,自动标线补偿可确保低成本的对齐和特征定位。该工具允许用户集成用于晶圆认证的测量数据。除了上述功能外,AUGUST AXI 930还提供了集成计量数据包(MDP),其中包括一套全面的测量和分析软件工具。这种全面的MDP工具允许跟踪过程管理参数和控制。总体而言,RUDOLPH/AUGUST AXI 930掩模和晶圆检验资产是任何半导体制造、实验室、质量控制或实验室环境的完美工具。该模型具有强大的功能,可提供卓越的成像结果和精确的测量,从而实现最高的效率。
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